没有人希望打开真空炉门时看到到处都是油。扩散泵返油的问题会让人感到很恼火，而维保人员有时很难判断问题的原因。而且返油问题还会影响工艺过程及严重污染真空计。
在本文中，我们提供出现返油问题可能原因的排查清单，当您发现扩散泵返油时，可以针对以下这些问题点进行重点检查：
?? 扩散泵冷却水的进水温度是否为 32° C 或以下？（理想温度应在 15° C 和 26° C 之间）。
?? 扩散泵冷却水的出水温度是否为 52° C 或更高？
?? 为扩散泵供电的三个电源相位是否平衡？（如果不是，则可能存在加热器问题、跳线断裂、保险丝熔断或其他与电气相关的问题）
?? 扩散泵的油位是多少？
l 油位高可能会使系统过冷
l 油位太低则系统会过热
l 无论哪种情况都会导致返油的问题
?? 您的扩散泵启动压力是否设置为了12Pa或更高？
?? 在冷炉状态下，从大约 10Pa到0.1Pa的抽气时间是否超过3分钟？
?? 您是否在冷炉状态让扩散泵在高真空下工作超过一天？
?? 在最近一次换油时，是否使用混过不同品牌，型号及系列的泵油，或使用了再生油？
?? 粗抽阀组在关闭时是否有泄漏？
?? 您是否在冷态和工作温度下对炉子都进行了泄漏测试？（有时炉子会在热态出现泄露而冷态正常）
?? 在泵油的加热系统中您是否使用了铜或不锈钢材质的加热丝和接线端子，而不是推荐使用的高镍合金材料？
来源：易普森工业炉